Муқаддима ба раванди суфтакунии вафли Бозгашт
1. Мақсади дастос бозгашт
Дар процесси аз пластинка тайёр кардани нимнокилхо намуди пластинка доимо тагьир меёбад.Аввалан, дар раванди истеҳсоли вафли канор ва сатҳи вафли сайқал дода мешавад, ки ин раванд одатан ҳарду тарафи вафлиро майда мекунад.Пас аз ба итмом расидани раванди пешфарз, шумо метавонед раванди дастоскунии паси паҳлӯро оғоз кунед, ки танҳо пушти вафлиро суфта мекунад, ки метавонад олудагии кимиёвиро дар раванди пештара тоза кунад ва ғафсии чипро кам кунад, ки ин хеле мувофиқ аст. барои истеҳсоли микросхемаҳои лоғар дар кортҳои IC ё дастгоҳҳои мобилӣ насбшуда.Илова бар ин, ин раванд дорои бартариҳои кам кардани муқовимат, кам кардани истеъмоли қувваи барқ, баланд бардоштани қобилияти гармидиҳӣ ва зуд паҳн кардани гармӣ ба пушти вафли.Аммо дар айни замон, азбаски вафли борик аст, аз ҷониби қувваҳои беруна шикастан ё каҷ кардан осон аст, ки қадами коркардро душвортар мекунад.
2. Раванди муфассали дастос (бозгашт) дастос
дастос бозгашт мумкин аст ба се марҳилаи зерин тақсим: аввал, часбонед Ламинатсияи лентаи муҳофизатӣ оид ба вафли;Дуюм, пушти вафлиро майда кунед;Сеюм, пеш аз ҷудо кардани чип аз вафли, вафли бояд дар вафли вафли ҷойгир карда шавад, ки лентаро муҳофизат мекунад.Раванди часпаки вафли марҳилаи омодагӣ барои ҷудо кардани он мебошадчип(буридани чип) ва аз ин рӯ низ метавонад ба раванди буридани дохил карда шавад.Дар солҳои охир, вақте ки микросхемаҳои тунуктар шуданд, пайдарпаии раванд низ метавонад тағир ёбад ва қадамҳои раванд дақиқтар шуданд.
3. Раванди Lamination навор барои ҳифзи вафли
Қадами аввал дар дастос пушти сарпӯш аст.Ин як раванди пӯшишест, ки лентаро ба пеши вафли мечаспонад.Ҳангоми суфтан дар пушт, пайвастагиҳои кремний дар гирду атроф паҳн мешаванд ва вафли низ метавонад аз таъсири қувваҳои беруна дар ин раванд кафида ё каҷ шавад ва майдони вафли ҳар қадар калонтар бошад, ба ин падида ҳассостар мешавад.Аз ин рӯ, пеш аз дастос кардани пушт, барои муҳофизат кардани вафель як филми кабуди тунуки Ultra Violet (UV) часпонида мешавад.
Дар вакти ба кор андохтани плёнка, барои он ки дар байни вафель ва лента фосила ё футури хаво пайдо нашавад, кувваи часпакро зиёд кардан лозим аст.Бо вуҷуди ин, пас аз дастос дар пушт, лента дар вафли бояд бо нури ултрабунафш шуоъ карда шавад, то қувваи часпакро кам кунад.Пас аз кашидан, пасмондаҳои лента набояд дар рӯи вафли боқӣ монанд.Баъзан, раванди хоҳад пайвастшавӣ заиф ва моил ба ҳубобӣ ғайри ултрабунафш коҳиш табобати мембрана истифода хоҳад кард, гарчанде бисёр нуқсонҳои, вале арзон.Илова бар ин, филмҳои Bump, ки ду маротиба ғафс аз мембранаҳои коҳиши ултрабунафш мебошанд, низ истифода мешаванд ва интизор меравад, ки дар оянда бо басомади зиёд истифода шаванд.
4. Ғафсии вафли ба бастаи чипи мутаносиб мутаносиб аст
Ғафсии вафли пас аз дастос кардани паси паҳлӯ одатан аз 800-700 мкм то 80-70 мкм кам карда мешавад.Вафельҳо то даҳяки тунукшуда метавонанд аз чор то шаш қабат ҷамъ карда шаванд.Ба наздикӣ, вафлиҳоро ҳатто тавассути як раванди дукадоз тақрибан то 20 миллиметр тунук кардан мумкин аст ва ба ин васила онҳоро ба 16 то 32 қабат, сохтори нимноқили бисёрқабата бо номи бастаи бисёр чип (MCP) маълум аст.Дар ин ҳолат, сарфи назар аз истифодаи қабатҳои сершумор, баландии умумии бастаи тайёр набояд аз ғафсии муайян зиёд бошад, аз ин рӯ ҳамеша вафли тунуктари суфтакунанда пайгирӣ карда мешавад.Вафель хар кадар тунук бошад, хамон кадар нуксонхо зиёд мешаванд ва процесси оянда хамон кадар душвортар мешавад.Аз ин рӯ, барои беҳтар кардани ин мушкилот технологияи пешрафта лозим аст.
5. Тағйир додани усули суфтакунии бозгашт
Бо буридани вафли то ҳадди имкон борик барои бартараф кардани маҳдудиятҳои техникаи коркард, технологияи дастоскунии паси паҳлӯ таҳаввулро идома медиҳад.Барои вафли маъмулии ғафсӣ аз 50 ва бештар аз он, суфтакунии пушти паҳлӯ се марҳиларо дар бар мегирад: суфтакунии ноҳамвор ва сипас суфтакунии хуб, ки дар он вафли пас аз ду сессияи суфтакунӣ бурида ва сайқал дода мешавад.Дар ин лаҳза, ба монанди сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ (CMP), оби ҷӯйбор ва деионизатсияшуда одатан дар байни лавҳаи сайқалдиҳанда ва вафли истифода мешаванд.Ин кори сайқалдиҳӣ метавонад соиши байни вафли ва лавҳаи сайқалдиҳиро коҳиш диҳад ва рӯи онро равшан кунад.Вақте ки вафли ғафстар аст, Super Fine Grinding метавонад истифода шавад, аммо вафли бориктар бошад, сайқал додани бештар талаб карда мешавад.
Агар вафель тунуктар шавад, дар ҷараёни буридан ба нуқсонҳои беруна дучор мешавад.Аз ин рӯ, агар ғафсии вафли 50 мкм ё камтар бошад, пайдарпаии равандро тағир додан мумкин аст.Дар айни замон усули DBG (Dicing Before Grinding) истифода мешавад, яъне вафли пеш аз суфтакунии аввал ду маротиба бурида мешавад.Чип аз вафли бехатар бо тартиби буридан, суфтан ва буридан ҷудо карда мешавад.Илова бар ин, усулҳои махсуси суфтакунӣ вуҷуд доранд, ки барои пешгирӣ кардани шикастани вафель аз табақи сахти шишагӣ истифода мешаванд.
Бо афзоиши талабот ба ҳамгироӣ дар миниатюризатсияи асбобҳои барқӣ, технологияи суфтакунии пушти сар бояд на танҳо маҳдудиятҳои худро бартараф кунад, балки рушди худро идома диҳад.Дар айни замой на танхо проблемам нуксонхои вафельро хал кардан, балки ба проблемахои наве, ки дар процесси оянда ба миён меоянд, тайёрй дидан лозим аст.Барои халли ин проблемахо шояд зарур бошадгузаришпайдарпаии раванд, ё ҷорӣ намудани технологияи etching кимиёвӣ истифода бурда мешаваднимноқилпроцесси пеш-кадам ва пурра кор карда баромадани усулхои нави коркард.Барои бартараф кардани нуксонхои хоси вафельхои майдони калон усулхои гуногуни суфтакунй тадкик карда мешаванд.Гайр аз ин, оид ба тарзи аз нав кор кардани шлаки кремний, ки пас аз суфта кардани пластинкахо хосил мешавад, тадкикот гузаронда мешавад.
Вақти фиристодан: июл-14-2023